微機(jī)電系統(tǒng)工程以機(jī)、電技術(shù)，尤其是微機(jī)械為基礎(chǔ)，運(yùn)用微電子技術(shù)和微加工技術(shù)，進(jìn)行微納米和微機(jī)電系統(tǒng)內(nèi)的一系列微型器件的設(shè)計(jì)、制造及測(cè)試等。例如：微泵、微傳感器、微加速度計(jì)、小飛機(jī)、小衛(wèi)星和微米衛(wèi)星等。

微機(jī)電系統(tǒng)工程主要學(xué)《微機(jī)電工程材料》、《微機(jī)電器件與系統(tǒng)》、《微機(jī)械學(xué)》、《微納米測(cè)量與測(cè)試技術(shù)》、《微細(xì)加工技術(shù)》、《現(xiàn)代傳感技術(shù)》、《精密工程制造基礎(chǔ)和光存儲(chǔ)技術(shù)》等。

微機(jī)電系統(tǒng)工程專業(yè)可以在機(jī)械、電子技術(shù)類企業(yè)從事機(jī)械工程、電氣工程、技術(shù)開(kāi)發(fā)、工程設(shè)計(jì)、產(chǎn)品研發(fā)、生產(chǎn)運(yùn)行、產(chǎn)品測(cè)試、技術(shù)管理等工作。

微機(jī)電系統(tǒng)工程專業(yè)開(kāi)設(shè)院校有清華大學(xué)、西北工業(yè)大學(xué)，修業(yè)年限為四年，學(xué)科門類屬于工學(xué)，專業(yè)類屬于機(jī)械類，畢業(yè)后授予工學(xué)學(xué)士。